Роторный стол на воздушных подшипниках
TR: Роторный стол на воздушных подшипниках
Роторный стол состоит из гранитных дисков, движущихся на нажимных/вакуумных подшипниках таким образом, чтобы достичь максимальной устойчивости даже при изменении нагрузок при измерении. Нижний диск может двигаться на основе, в то время как верхний диск вращается вокруг вертикальной оси благодаря системе воздушных подшипников. В комплект поставки прибора входит устройство фильтрации и управления подачи сжатого воздуха и регулирующее устройство. Другие размеры предложены.
|
TR 0475 |
TR 0477 |
TR 0478 |
Диаметр диска, мм |
290 |
390 |
490 |
Вес нетто, кг |
36 |
62 |
106 |
Давление, Бар |
4.5 |
4.5 |
4.5 |
Точность вращения оси |
1 µm |
1 µm |
1 µm |
Точность горизонтального диска |
2.0 µm |
2.5 µm |
3.0 µm |
Максимальная нагрузка |
60 |
100 |
170 |